检测项目

真空性能检测：

• 真空度：≤0.1Pa（参照ISO 21360）
• 抽气速率：≥20m³/h
• 残余气体分析：水蒸气分压≤0.01Pa

• 温度均匀性：±2°C
• 升温速率：≥5°C/min
• 恒温稳定性：±1°C

• 泄漏率：≤1×10^{-6} mbar·l/s
• 密封材料耐压：≥1.5倍工作压力
• 门封气密性：无泄漏（压力差0.1MPa）

• 拉伸强度：≥300MPa
• 冲击韧性：≥20J
• 硬度：维氏硬度HV≥150

• 压力释放阀开启压力：设定值±5%
• 过温保护响应时间：≤2s
• 紧急停机功能：触发时间≤1s

• 绝缘电阻：≥100MΩ
• 接地连续性：≤0.1Ω
• 耐电压强度：≥1500V AC

• 盐雾试验：96小时无腐蚀
• 化学兼容性：无反应（酸碱介质）
• 氧化稳定性：失重率≤0.1%

• 控制精度：±1%
• 响应时间：≤5s
• 能耗效率：≤1.5kW·h/kg

• 温度范围：-20°C至50°C
• 湿度影响：无性能下降（RH 80%）
• 振动耐受：振幅≤2mm

• 循环寿命：≥10000次
• 磨损率：≤0.01mm/年
• 疲劳强度：≥10^6 cycles

检测范围

1. 不锈钢壳体： 重点检测耐腐蚀性和结构完整性，确保在真空和高温环境下无变形或裂纹。

2. PTFE密封件： 检测耐温性（-50°C至260°C）和密封性能，防止气体泄漏和材料老化。

3. 石英观察窗： 检测透光率（≥90%）和耐热冲击性，确保在温度骤变下无破裂。

4. 镍铬加热丝： 检测电阻稳定性（±1%）和寿命（≥5000小时），维持均匀加热。

5. 真空泵系统： 检测抽气效率（≥95%）和噪音水平（≤65dB），保障真空建立速度。

6. 电子控制器： 检测控制精度（±0.5%）和抗干扰能力，避免误操作。

7. 安全阀组件： 检测响应压力准确性和密封性，防止超压风险。

8. 门封橡胶： 检测弹性恢复率（≥95%）和老化性能（1000小时测试），确保长期密封。

9. 保温材料： 检测隔热效率（导热系数≤0.03W/m·K）和防火性（JianCe94 V-0级），减少能耗。

10. 整体组装： 检测系统集成性和功能性，验证各部件协同工作无故障。

检测方法

国际标准：

• ISO 21360-1:2019 Vacuum technology acceptance specifications
• ASTM E595-2020 JianCe test method for total mass loss
• IEC 61010-1:2010 Safety requirements for electrical equipment

• GB/T 某某 Vacuum degree measurement methods
• GB/T 某某 Temperature control testing procedures
• GB/T 某某 Material corrosion resistance standards

检测设备

1. 数字真空计： VD200型（量程0.01Pa-1000Pa，精度±2%）

2. 热电偶温度计： TC101型（范围-50°C至300°C，精度±0.3°C）

3. 氦质谱检漏仪： HLD300型（灵敏度1×10^{-9} mbar·l/s）

4. 万能材料试验机： UTM500型（载荷0.1N-50kN）

5. 盐雾试验箱： SST100型（温度范围室温至60°C）

6. 光谱分析仪： SA500型（检测限0.001%）

7. 绝缘电阻测试仪： IRT150型（测试电压500V/1000V）

8. 环境试验箱： ETC200型（温度范围-40°C至150°C）

9. 循环寿命测试台： CLT100型（最大循环次数100000次）

10. 热成像仪： TI300型（分辨率320×240，精度±1°C）

11. 压力校准器： PC400型（范围0-1MPa，精度±0.1%）

12. 振动测试系统： VTS500型（频率5-2000Hz，振幅0.1-5mm）

13. 气体分析仪： GA300型（检测限0.1ppm）

14. 电气安全测试仪： EST200型（接地电阻测试范围0-2Ω）

15. 疲劳试验机： FTM600型（循环频率0.1-30Hz）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。